StrataGem

      

   

   

   StrataGem: Das ultimative Schichtanalysen-Programm

       

   

StrataGem berechnet Schichtdicken und deren Zusammensetzung. Es können eine oder mehrere Schichten berechnet werden. Die Zusammensetzung des Substrates wird ebenfalls berechnet.

  

Das Intensitätsverhältnis zwischen unbekanntem Schichtsystem und Standard wird gemessen (EDX oder WDX). Die Messwerte (Ix/Istd) für eine oder mehre Hochspannungen werden direkt in das Programm importiert. StrataGem kann zwei Röntgenlinien pro Element in die Berechnung einbeziehen. Die niederenergetische für die Berechnung der Zusammensetzung der obersten Schicht. Die höherenergetische Linie wird für die Ermittlung der Schichtdicke verwendet. Außerdem ist es möglich verschiedene Standards bei unterschiedlichen Anregungsspannungen für ein Element zu verwenden.

   

StrataGem berechnet folgende Graphiken:

  • Intensität über Anregungsspannung (Abb.1)

  • Intensität über Maximumionisationspotential Rx (Abb.2)

  • Intensität über Schichtdicke (Abb.3)

  • Iterationsschritte mit zugehöriger Fehlerangabe (Abb.4)

  • Φ(ρZ)

 


 

 

 Abb.1

Abb. 3

 
 

 Abb.2

  Abb.4